项目案例
Project cases

选择真空泵的具体方法


  选用真空泵时,需求留意下列事项:真空泵的作业压强应该满意真空设备的极限真空及作业压强要求。如:某真空枯燥工艺要求10mmHg的作业真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,好能到达1mmHg.一般挑选泵的极限真空度要高于真空设备作业真空度半个到一个数量级。

 

  正确地挑选真空泵的作业点。每种泵都有一定的作业压强规模,如:2BV系列水环真空泵作业压强规模760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强规模内,泵的抽速随压强而改变(详细改变情况参照泵的功能曲线),其稳定的作业压强规模为760~60mmHg.

  因而,泵的作业点应该选在这个规模之内较为适合,而不能让它在25~30mmHg下长期作业。真空泵在其作业压强下,应能排走真空设备工艺过程中发生的悉数气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有挑选性抽气,因而,有时选用一种泵不能满意抽气要求。

  需求几种泵组合起来,相互补充才能满意抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空设备得到较好的真空度。