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真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响
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发布时间：
2021-11-13
⑴真空泵作业时发生的振动对工艺进程及环境有无影响。若工艺进程不允许，应挑选无振动的泵或者采取防振动办法。
⑵了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。挑选真空泵时，需求知道气体成分，针对被抽气体挑选相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
⑶真空泵在其作业压强下，应能排走真空设备工艺进程中发生的全部气体量。
⑷正确地组合真空泵。因为真空泵有挑选性抽气，因此，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需求几种泵组合起来，相互补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空设备得到较好的真空度。别的，有的真空泵不能在大气压下作业，需求预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需求前级泵，故都需求把泵组合起来使用。
⑸真空设备对油污染的要求。若设备严厉要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严厉，能够挑选有油泵，加上一些防油污染办法，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
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