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干式真空泵主要有下列几种形式
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发布时间：
2022-03-26
双圆裂片式规划和现在最流行和广泛应用的罗茨泵十分相似。事实上，一些最前期的干泵规划思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级规划使得气体通路适当杂乱，而且每一级都需求较大流量的氮气起到稀释和阻隔效果。一起，为了到达好的真空度，对各级的间隙有十分严厉的要求。当然，这种规划由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。
三叶圆裂片式规划和双圆裂片式规划的原理完全相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种规划有着相同的优点和缺陷。为了进一步下降耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的能力-下降。同双圆裂片式规划一样，三叶圆裂片式规划的每一级都需求较大流量的氮气来起到稀释和阻隔效果。
组合式（罗茨+爪）规划用罗茨来进步在较低压力下的抽气功率，用爪来进步在较高压力下的抽气功率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式规划完全相同。也有些厂家将其最后一级改为星型规划，这样能够在旋转一圈中将气体分为五份，就像三圆裂片式规划能够将其分为三份。同样，在很多工艺中，组合式规划的每一级都需求较大流量的氮气来起到稀释和阻隔效果。
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